Dettaglio Laboratorio

La Clean Room coadiuva le attività di ricerca con attrezzature all'avanguardia e una conoscenza approfondita delle tecniche di micro- e nano-fabbricazione. La Clean Room dispone di tecnologie per la realizzazione di processi fotolitografici, deposizione di film metallici o isolanti con tecnologia sputtering, realizzazione di film polimerici ultra-sottili e lavorazioni micro- e nano-metriche. In aggiunta è possibile effettuare immagini e micro-analisi dei campioni per l’identificazione degli elementi costitutivi del materiale, mappe topografiche 3D della superficie del materiale e quantificazione dei parametri superficiali quali la rugosità. L’obiettivo è quello di sviluppare competenze nella realizzazione di dispositivi 3D non convenzionali.

Strumentazione:

• StylusProfiler - KLA-Tencor, P-6
• SEM con Microanalisi - Carl Zeiss AG / Strumenti Oxford EVO MA10 / Incax-act
• Fascio di ioni focalizzato - FEI FIB 200
• Dual Beam - FIB/SEM FEI HELIOS NANOLAB 600i
• Sistema Langmuir-Blodgett - KSV NIMA KSV 5000
• Direct Laser Writer - NanoScribe GmbH, Nanoscribe
• Stampante a getto d'inchiostro per materiali - FUJIFILM Dimatix, Inc., DIMATIX DMP-2800
•Banco bagnato - Arias GmbH
• Allineatore di maschere - Suss Microtech GmbH, MA6
• Thermal evaporator - Tecno Service
• RF/DC Magnetron Sputtering - Kenosistec Srl
• Sistema al plasma multiuso - Gambetti SpA, COLIBRì
• Sistema di sonde manuali - Microtech a cascata, PM5
• Sistema di metrologia delle superfici ottiche - Leica, DCM 3D
• Spin coater per cialde singole - SPS-EUROPE, SPIN 150
• Digital Wedge Bonder - Kulicke&Soffa, 4523AD DIGITAL
• Nanomanipolatore - Stazione Micro Sonda, Kleindiek Nanotechnik
• Sistema di riflettrometria a film sottile - Ocean Optics, NANOCALC

Indirizzo:
Viale Rinaldo Piaggio, 34, Pontedera